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超純水可保障集成電路產業水質要求

2022-10-24

  據悉,近年來,廈門市集成電路產業持續保持高速增長,2021年集成電路產業產值達308.8億元,年復合增長率達18.2%;半導體和集成電路產業產值約500億元,總投資超千億元。當前,廈門市已建設火炬高新區、海滄臺商投資區、自貿區高崎園區等三個集成電路重點集聚區域,全市集成電路產業鏈企業超過300家,形成產業集聚態勢。

  集成電路產業是信息技術發展的核心,是支持現代經濟社會發展的基礎性和主導性產業。隨著現在經濟的不斷發展,集成電路的設計對于水質要求也是不斷提高,所以在生產中需要用到超純水來保障其性能。

  近幾十年以來,混床離子交換技術(D)一直作為超純水制備的標準工藝。由于其需要周期性的再生且再生過程中消耗大量的化學藥品(酸堿)和工業純水,并造成一定的環境問題,因此需要開發無酸堿超純水系統。

  正因為傳統的離子交換已經越來越無法滿足現代工業和環保的需求,于是將膜、樹脂和電化學原理相結合的EDI技術成為水處理技術的一場革命。其離子交換樹脂的的再生使用的是電能,而不再需要酸堿,因而更滿足于當今世界的環保要求。

  EDI設備是應用在反滲透系統之后,取代傳統的混床離子交換技術MB-DI)生產穩定的超純水。萊特萊德超純水系統是將反滲透水處理設備、電去離子(EDI)設備和拋光混床相結合制備超純水的設備。這不僅是一種制備超純水的新技術,也是一種環保、經濟、發展潛力巨大的超純水制備工藝。

  超純水設備可連續穩定生產優質超純水,不會因樹脂再生而停止運行。設備結構設計緊湊,占地面積小,可為企業節省大量空間。與傳統方法相比,超純水設備具有許多優點,可以連續穩定地制備高質量的超純水。

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