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超純水技術全力保障芯片生產 嚴把質量關

2022-07-27

  受疫情影響,全球芯片短缺遲遲不見緩解,導致越來越多的供應中斷、工廠停工,目前,芯片生產和供給已成為歐洲各國和美國的戰略重點。芯片在生產過程中需要超純水清洗。一方面,芯片在加工過程中的微污染被清除,另一方面,純水中的微雜質可能會重新污染芯片,這無疑對產品有很大的影響。

  隨著集成電路化程度的進一步提高,對水中污染物的要求將更加嚴格。由于集成電路用純水水質指數是由五家美國公司在20世紀60年代末提出的,每一代集成電路中的雜質將減少1/2~1/10。傳統的純水處理技術也將逐步淘汰,取而代之的是環保、操作簡單、成本低、運行穩定的新型系統技術。

超純水設備

  芯片超純水采用雙級反滲透+EDI工藝,反滲透系統的功能是利用反滲透原理,主要去除水中溶解的鹽、有機物、膠體和大分子,降低水質中的離子含量。EDI是結合離子交換膜技術和離子電遷移技術的純水制造技術,它不需要酸堿再生,是一種新的脫鹽方法。EDI不需要化學品再生,運行成本低。EDI系統自動化程度高,可以連續工作,出水水質良好穩定,出水電阻率低≥ 15mΩ·cm。

  半導體芯片是數字和數字化產品的重要組成部分。從智能手機和汽車,到醫療保健、能源、通信和工業自動化的關鍵應用和基礎設施,芯片是現代數字經濟的核心。

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